Client
L’industriel microélectronique appliquait un procédé par épitaxie qui consiste à déposer en couche nanométrique des éléments formant une structure cristalline ad hoc. L’un des éléments les plus utilisés pour cette technologie est l’arsenic. Au cours de l’exploitation, les contaminations en arsenic se sont étendues dans l’ensemble des équipements des procédés, dans les lieux de production (salles blanches, climatisation) et également dans les zones administratives.
CURIUM a réalisé la décontamination des salles blanches (2000 m²), d’un atelier de stockage (300 m²) et des équipements (280 tonnes) contaminés à l’arsenic.
Un plan d’échantillonnage et des seuils de contamination ont été définis. Une méthodologie de décontamination a été développée en fonction des surfaces. CURIUM s’est chargée de la conception des travaux en salles blanches et en atmosphère irrespirable (présence d’arsine et de phosphine) et sur des équipements contenant du phosphore.
L’équipe CURIUM a ensuite conditionné les déchets pour valorisation ou élimination, et assuré le suivi des déchets à l’étranger.
