镓、砷和铟的去污染处理

CURIUM为一个微电子生产车间的生产区进去了去污染净化操作。

该生产区的地面和一些设备受到了砷、镓和铟的污染。

作业结束后，先通过采集表面样品验证了去污染的完成，然后用FX光谱仪最后进行验证。