В производственном процессе клиента в области микроэлектронной промышленности применялся процесс эпитаксии, состоящий в нанесении нанометрических слоев элементов, образующих специальную кристаллическую структуру. Одним из наиболее широко используемых веществ для применения этой технологии является мышьяк. В процессе производства загрязнение мышьяком распространилось на все технологическое оборудование, в производственных помещениях (в т.ч. чистых помещениях и системе кондиционирования воздуха), а также в административных помещениях.

Компания CURIUM провела обеззараживание чистых помещений (2000 м²), склада (300 м²) и оборудования (280 тонн), загрязненных мышьяком.

Перед операцией эксперты CURIUM разработали план отбора проб и пороговые значения допустимых уровней загрязнения, а также методику обеззараживания поверхностей. Компания CURIUM отвечала за проектирование работ в чистых помещениях и в непригодной для дыхания атмосфере (наличие арсина и паров фосфора), а также на оборудовании, содержащем фосфор.

Затем команда CURIUM переупаковала отходы и проследила за их перевозкой за границу в целях утилизации.

Детали проекта

Вещества

Мышьяк

Площадь объекта

2300 м²

Объём обеззараженных элементов

280 тонн

Похожие проекты

Демеркуризация производственной линии CURIUM

Демеркуризация производственной линии

Обеззараживание мышьяка, индия, галлия в промышленности микроэлектронике CURIUM

Обеззараживание галлия, мышьяка и индия