蒸馏装置的去污染和拆除（BCl₃）

客户希望拆除一个蒸馏三氯化硼和甲基三氯硅烷的闲置装置。在反应过程中，还生成了硅烷和硼烷氢化物（水反应化合物）。CURIUM此前曾对该工艺进行过详细研究，并进行过HAZOP类型的风险分析。装置中的气体首先在CURIUM设计的气体洗涤器中进行净化和处理。装置的各个部件都被进行了去污染，随后使用气体进行惰性化。